タグ 3次元積層
人気順 10 users 50 users 100 users 500 users 1000 users【福田昭のセミコン業界最前線】 NANDフラッシュメモリに続いて大容量DRAMも将来は3次元積層へ
2023/06/08
9 users
NANDフラッシュメモリ
福田昭
セミコン業界最前線
将来
産総研、MRAMの3次元積層に成功。MRAMの大容量化や生産性向上に道筋 - PC Watch
2017/05/16
10 users
MRAM
CMO
CMOS
道筋
産総研
3次元積層によるTMR素子を作成 産業技術総合研究所(産総研)は16日、不揮発性磁気メモリ(MRAM)の3次元積層プロセス技術を開発したと発表した。CMOS形成ウェハとTMR薄膜ウェハを別体生成したあと、圧着接合するという3次元積層によるTMR素子の作成は世界初という。 MRAMは垂直磁化TMR素子をベースとする記録ビットと、ビット選択に用いるCMOS、金属配線からなり、通常TMR薄膜はCMO... 続きを読む