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人気順 10 users 50 users 100 users 500 users 1000 users半導体のＥＵＶ露光で高まる日本メーカーの存在感、普及はどこまで進む？｜ニュースイッチ by 日刊工業新聞社
2021/01/08
6 users
半導体
普及
ニュースイッチ
by 日刊工業新聞社
存在感
微細化追求 見極め重要 半導体回路の微細化で欠かせない「極端紫外線（ＥＵＶ）露光」の周辺工程で、日本の装置メーカーの存在感が増している。最も重要な露光装置は蘭ＡＳＭＬが市場を独占するものの、検査や感光剤の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。ただ先端のＥＵＶ関連装置は高額で、半導... 続きを読む
TSMC、EUV露光による7nm量産を第2四半期より開始 ～5nmのリスク生産も上半期に開始 - PC Watch
2019/02/13
13 users
TSMC
上半期
5nm
PC Watch
第2四半期